[发明专利]具有浮动单元的抛光垫以及制造和使用该抛光垫的方法

摘要

本公开涉及具有例如通过热粘结而固定到支撑层的浮动抛光单元的抛光垫，以及在抛光过程中制造和使用该抛光垫的方法。在一个示例性实施例中，抛光垫包括多个抛光单元，抛光单元中的至少一些是多孔的，各抛光单元固定到支撑层的主表面以便限制抛光单元相对于一个或多个其他抛光单元的横向运动，但仍在大体上正交于抛光单元的抛光表面的轴线上保持可移动的。在某些实施例中，抛光垫另外地包括固定到正对于抛光单元的支撑层的柔性层，以及可选择地抛光剂分布层。在一些实施例中，使用多孔抛光单元，小孔在大体上抛光单元的抛光表面处分布。

主权项

一种包括多个抛光单元的抛光垫，各个抛光单元粘结到支撑层的主侧，以便限制抛光单元相对于一个或多个其他抛光单元的横向运动，但是仍在大体上正交于抛光单元的抛光表面的轴线上是可运动的。