[发明专利]吸附片有效

专利信息
申请号: 200980138499.X 申请日: 2009-09-25
公开(公告)号: CN102164719A 公开(公告)日: 2011-08-24
发明(设计)人: 橘俊光 申请(专利权)人: 日东电工株式会社
主分类号: B25J15/06 分类号: B25J15/06;B25B11/00;B32B3/24;B32B27/32;B65G49/07;H01L21/677;H01L21/683
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 代理人: 苏卉;车文
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 吸附片(1)安装在用于真空吸附对象物的吸附装置(4)的吸附面(4a)上,具有基板(2)和多孔质体(3)。基板(2)具有一面(2a)及另一面(2b),一面(2a)与吸附面(4a)接触。并且,基板(2)上设有多个通孔(21),多孔质体(3)具有1.4mm以下的厚度,其粘贴到基板(2)的另一面(2b)上,以堵塞通孔(21)。
搜索关键词: 吸附
【主权项】:
一种吸附片,其安装在用于真空吸附对象物的吸附装置的吸附面上,具有:基板,具有与上述吸附面接触的一面,设置了多个通孔;和多孔质体,粘贴到上述基板的另一面上,以堵塞上述多个通孔,且厚度为1.4mm以下。
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