[发明专利]吸附片有效
申请号: | 200980138499.X | 申请日: | 2009-09-25 |
公开(公告)号: | CN102164719A | 公开(公告)日: | 2011-08-24 |
发明(设计)人: | 橘俊光 | 申请(专利权)人: | 日东电工株式会社 |
主分类号: | B25J15/06 | 分类号: | B25J15/06;B25B11/00;B32B3/24;B32B27/32;B65G49/07;H01L21/677;H01L21/683 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 苏卉;车文 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 吸附片(1)安装在用于真空吸附对象物的吸附装置(4)的吸附面(4a)上,具有基板(2)和多孔质体(3)。基板(2)具有一面(2a)及另一面(2b),一面(2a)与吸附面(4a)接触。并且,基板(2)上设有多个通孔(21),多孔质体(3)具有1.4mm以下的厚度,其粘贴到基板(2)的另一面(2b)上,以堵塞通孔(21)。 | ||
搜索关键词: | 吸附 | ||
【主权项】:
一种吸附片,其安装在用于真空吸附对象物的吸附装置的吸附面上,具有:基板,具有与上述吸附面接触的一面,设置了多个通孔;和多孔质体,粘贴到上述基板的另一面上,以堵塞上述多个通孔,且厚度为1.4mm以下。
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