[发明专利]等离子体温度控制装置和等离子体温度控制方法有效
| 申请号： | 200980138949.5 | 申请日： | 2009-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN102172105A | 公开（公告）日： | 2011-08-31 |
| 发明（设计）人： | 冲野晃俊;宫原秀一 | 申请（专利权）人： | 冲野晃俊;宫原秀一 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H05H1/24 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所 11216 | 代理人： | 刘激扬 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的课题在于提供等离子体温度控制装置和等离子体温度控制方法，其中，可形成室温以下，特别是零度以下的等离子体，并且在低温至高温的较宽的温度范围内，能够更正确地控制等离子体温度。该装置包括使等离子体用气体变为等离子体的等离子体产生部(40)；等离子体用气体温度控制部(30)，其控制供给等离子体产生部(40)的等离子体用气体的温度，控制等离子体用气体的温度，控制在等离子体产生部(40)中产生的等离子体的温度。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 温度 控制 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种等离子体温度控制装置，其特征在于，该装置包括：等离子体产生部，其使等离子体用气体变为等离子体；等离子体用气体温度控制部，其控制供给等离子体产生部的等离子体用气体的温度，该等离子体温度控制装置控制等离子体用气体的温度，控制在等离子体产生部中产生的等离子体的温度。
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