[发明专利]用于有机材料的蒸发器有效
| 申请号： | 200980139115.6 | 申请日： | 2009-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN102165091A | 公开（公告）日： | 2011-08-24 |
| 发明（设计）人： | S·海恩;G·霍夫曼 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陆勍 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明描述一种用于汽化有机材料的蒸发器。该蒸发器包括第一腔室，其具有调适成导向要涂布的衬底的喷嘴；至少一个第二腔室，用于汽化有机材料；至少一个蒸汽通道，用于将汽化的有机材料自该至少一个第二腔室引导至该第一腔室；其中该第一腔室调适成将汽化的有机材料提供给该喷嘴，该喷嘴对应于第一实质升华表面，且该至少一个第二腔室调适成在操作期间提供第二升华表面区域，其中该第二升华表面区域对应于该第一实质升华表面的至少70％。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 有机 材料 蒸发器 | ||
【主权项】：
一种用于汽化有机材料的蒸发器，包含：第一腔室，其具有喷嘴，所述喷嘴调适成导向要涂布的衬底；至少一个第二腔室，用于汽化所述有机材料；至少一个蒸汽通道，用于将所述汽化的有机材料自所述至少一个第二腔室引导至所述第一腔室；其中所述第一腔室调适成将汽化的有机材料提供给所述喷嘴，所述喷嘴对应于第一实质升华表面，且所述至少一个第二腔室的一个或多个腔室调适成在操作期间提供组合的第二升华表面区域，其中所述组合的第二升华表面区域对应于所述第一实质升华表面的至少70％。
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