[发明专利]环境友好型聚合物剥离组合物无效
| 申请号： | 200980139680.2 | 申请日： | 2009-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN102216854A | 公开（公告）日： | 2011-10-12 |
| 发明（设计）人： | 迈克尔·B·克赞斯基;汤景萱;许铭案 | 申请（专利权）人： | 高级技术材料公司;先进科材股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;G03F7/42;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 刘慧;杨青 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了用于从微电子器件上清除抗蚀剂和/或其它材料的非水性及半水性的清除组合物。该非水性清除组合物包括四氢糠醇及至少一种二元酸酯。该半水性清除组合物包括四氢糠醇、至少一种二元酸酯、至少一种腐蚀抑制剂及不超过30重量％的水。此清除组合物能在不破坏底层低介电常数材料或金属材料的条件下有效清除抗蚀剂和/或其它材料。 | ||
| 搜索关键词： | 环境友好 聚合物 剥离 组合 | ||
【主权项】：
组合物，其由(a)糠醛或含糠基的化合物、(b)至少一种二元酸酯、(c)至少一种腐蚀抑制剂、及(d)水组成。
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