[发明专利]喷涂用正型感光性树脂组合物及使用该组合物的贯通电极的制造方法有效
| 申请号： | 200980140757.8 | 申请日： | 2009-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN102187277A | 公开（公告）日： | 2011-09-14 |
| 发明（设计）人： | 折原秀树;番场敏夫 | 申请（专利权）人： | 住友电木株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/023 | 分类号： | G03F7/023;C09D5/00;C09D7/12;C09D177/12;C09D179/04;C09D179/08;C09D201/00;H01L21/312;H01L21/3205;H01L23/12;H01L23/52 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 菅兴成;吴小瑛 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种包含碱溶性树脂、光致产酸化合物和溶剂，并且粘度是0.5～200cP的喷涂用正型感光性树脂组合物。通过使用该正型感光性树脂组合物，可在具有高长宽比的孔的内面，形成均匀的涂膜。对所获得涂膜的规定区域进行曝光、显影而获得涂膜图案，将该涂膜图案作为绝缘膜或绝缘膜的图案形成用掩模使用，由此可抑制孔内部漏电流的产生，并且以良好的成品率形成贯通电极。 | ||
| 搜索关键词： | 喷涂 用正型 感光性 树脂 组合 使用 贯通 电极 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种正型感光性树脂组合物，其是用于在半导体晶片的厚度方向上所设置的孔的内面形成涂膜的喷涂用正型感光性树脂组合物，包含：(A)碱溶性树脂，(B)光致产酸化合物，以及(C)溶剂；并且，前述正型感光性树脂组合物的粘度是0.5～200cP。
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