[发明专利]感光性树脂组合物、二氧化硅系覆膜的形成方法以及具有二氧化硅系覆膜的装置和部件无效
| 申请号： | 200980141722.6 | 申请日： | 2009-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN102187278A | 公开（公告）日： | 2011-09-14 |
| 发明（设计）人： | 青木阳介;阿部浩一;粕谷圭 | 申请（专利权）人： | 日立化成工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/075 | 分类号： | G03F7/075;C08G77/14;G03F7/004;G03F7/023;G03F7/40;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 金鲜英;刘强 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： |
本发明的感光性树脂组合物含有：(a)成分：由包含下述通式(1)所表示的化合物的第1硅烷化合物水解缩合而得的第1硅氧烷树脂、(b)成分：溶解所述(a)成分的溶剂、和(c)成分：酚类和二叠氮基萘醌磺酸的酯或醇类和二叠氮基萘醌磺酸的酯。[式1中，R1表示有机基团，A表示2价的有机基团，X表示水解性基团，同一分子内的多个X可以相同，也可以不同。]。 |
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| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 二氧化硅 系覆膜 形成 方法 以及 具有 装置 部件 | ||
【主权项】：
1.一种感光性树脂组合物，其含有：(a)成分：由包含下述通式(1)所表示的化合物的第1硅烷化合物水解缩合而得的第1硅氧烷树脂、(b)成分：溶解所述(a)成分的溶剂、和(c)成分：酚类和二叠氮基萘醌磺酸的酯或醇类和二叠氮基萘醌磺酸的酯；![]()
式(1)中，R1表示有机基团，A表示2价的有机基团，X表示水解性基团，同一分子内的多个X可以相同，也可以不同。
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