[发明专利]静电驱动器、微机械部件及用于静电驱动器和微机械部件的制造方法无效
| 申请号： | 200980141806.X | 申请日： | 2009-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN102187563A | 公开（公告）日： | 2011-09-14 |
| 发明（设计）人： | T·皮尔克;S·平特;M·克吕格尔;J·穆霍;J·弗里茨;C·弗里泽 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | H02N1/00 | 分类号： | H02N1/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种静电驱动器，包括：一个内框架(16)；至少一个包围内框架的中间框架(14)；和一个包围内框架(12)和所述至少一个中间框架(14)的外框架(12)；其中，内、中间和外框架(12，14，16)中每两个相邻的框架(12，14，16)通过至少一个弹簧元件(22，24，26)相互连接，所述弹簧元件(22，24，26)，通过它们将内、中间和外框架(12，14，16)的每两个相邻的框架(12，14，16)相互连接，被这样地设置，使得所述弹簧元件(22，24，26)的纵向方向位于一个共同的弹簧纵向轴线(28)上，以及直接在内框架(16)、所述至少一个中间框架(14)和外框架(12)的平行于弹簧纵向轴线(28)定向的框架梁(12a，14a，16a)上设有电极指。本发明同样涉及一种用于静电驱动器的制造方法。本发明还涉及一种微机械部件(10)和用于微机械部件(10)的制造方法。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 驱动器 微机 部件 用于 制造 方法 | ||
【主权项】：
静电驱动器，包括：一个内框架(16)；至少一个包围内框架的中间框架(14)；和一个包围内框架(16)和所述至少一个中间框架(14)的外框架(12)；其中，内、中间和外框架(12，14，16)中每两个相邻的框架(12，14，16)通过至少一个弹簧元件(22，24，26)相互连接，通过所述弹簧元件(22，24，26)将内、中间和外框架(12，14，16)的每两个相邻的框架(12，14，16)相互连接，所述弹簧元件(22，24，26)被这样地设置，使得所述弹簧元件(22，24，26)的纵向方向位于一个共同的弹簧纵向轴线(28)上，以及直接在内框架(16)、所述至少一个中间框架(14)和外框架(12)的平行于所述弹簧纵向轴线(28)定向的框架梁(12a，14a，16a)上设有电极指(30，32)。
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