[发明专利]可旋转溅射靶材支撑圆柱、可旋转溅射靶材、制造可旋转溅射靶材的方法以及涂覆设备无效
申请号: | 200980142266.7 | 申请日: | 2009-10-23 |
公开(公告)号: | CN102197453A | 公开(公告)日: | 2011-09-21 |
发明(设计)人: | 迈克尔·舍弗尔;罗兰·特拉斯里;刘健 | 申请(专利权)人: | 应用材料公司 |
主分类号: | H01J37/34 | 分类号: | H01J37/34;C23C14/34 |
代理公司: | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人: | 王安武 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 一种溅射设备的可旋转靶材装置,该可旋转靶材装置包括:可旋转靶材基座(4),用于托持固体靶材圆柱(5),该固体靶材圆柱具有内轴向面(54)、外轴向面(55)以及至少一个前面(56),该前面连接该内轴向面与该外轴向面;其中该可旋转靶材基座包括弹性组件(23;230)、第一面(3)以及第二面(250;81),该第一面适合该固体靶材圆柱的该内轴向面的形状,该第二面用以托持该固体靶材圆柱外部的该弹性组件。 | ||
搜索关键词: | 旋转 溅射 支撑 圆柱 制造 方法 以及 设备 | ||
【主权项】:
一种溅射设备的可旋转靶材装置,其包括:可旋转靶材基座(4),用于托持固体靶材圆柱(5),该固体靶材圆柱具有内轴向面(54)、外轴向面(55)以及连接该内轴向面与该外轴向面的至少一个前面(56);其中该可旋转靶材基座包括弹性组件(23;230)、第一面(3)以及第二面(250;81),该第一面(3)适合该固体靶材圆柱的该内轴向面的形状,且该第二面(250;81)用以托持该固体靶材圆柱外部的该弹性组件。
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