[发明专利]利用多种群变换产生电路图案有效
| 申请号： | 200980142613.6 | 申请日： | 2009-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN102197397A | 公开（公告）日： | 2011-09-21 |
| 发明（设计）人： | 阿米尔·诺伊 | 申请（专利权）人： | 奥博泰克有限公司 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王冉 |
| 地址： | 以色列*** | 国省代码： | 以色列;IL |
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| 摘要： | 一种用于生产电路的方法，包括：提供具有特征的第一图案的基板和限定包括互连电路元件网的第二图案。不同的各自的变换规则被指定用于不同的各电路元件。通过施加各自的变换规则到电路元件而修改第二图案以对齐电路元件与第一图案中的特征，以及施加修改的第二图案到基板。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 多种 变换 产生 电路 图案 | ||
【主权项】：
一种用于生产电路的方法，包括：提供具有特征的第一图案的基板；限定包括互连电路元件的网的第二图案；指定用于不同的各电路元件的不同的相应变换规则；通过施加相应的变换规则到所述电路元件而修改所述第二图案，以使所述电路元件与所述第一图案中的特征对齐；以及施加修改的第二图案到所述基板。
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