[发明专利]制造太阳能电池的技术有效
申请号: | 200980144167.2 | 申请日: | 2009-10-20 |
公开(公告)号: | CN102203955A | 公开(公告)日: | 2011-09-28 |
发明(设计)人: | 朱利安·G·布雷克;凯文·M·丹尼尔斯 | 申请(专利权)人: | 瓦里安半导体设备公司 |
主分类号: | H01L31/042 | 分类号: | H01L31/042;H01L21/265 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 臧建明 |
地址: | 美国麻萨诸塞*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 一种制造太阳能电池的技术。在一特定的例示性实施例中,所述技术可以包括在太阳能电池的上方设置罩幕,所述罩幕包括多个条状物,其中所述多个条状物彼此相间隔以定义出至少一狭缝;将所需物种的带状离子束导向所述太阳能电池,以离子植入所述太阳能电池的一部分,其中所述太阳能电池的所述部分由所述罩幕的所述至少一狭缝所定义;以及定向所述带状离子束,使所述带状离子束的较长剖面尺寸在一平面上与所述狭缝垂直。 | ||
搜索关键词: | 制造 太阳能电池 技术 | ||
【主权项】:
一种制造太阳能电池的方法,包括:在太阳能电池的上方设置罩幕,所述罩幕包括多个条状物,其中所述条状物彼此相间隔以定义出至少一狭缝;将所需物种的带状离子束导向所述太阳能电池,以将离子植入所述太阳能电池的一部分,其中所述太阳能电池的所述部分由所述罩幕的所述狭缝所定义;以及定向所述带状离子束,使所述带状离子束的较长剖面尺寸在一平面上与所述狭缝垂直。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的