[发明专利]用于接合曝露于等离子体的陶瓷部件的抗腐蚀接合试剂及接合方法无效
| 申请号： | 200980145268.1 | 申请日： | 2009-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN102216240A | 公开（公告）日： | 2011-10-12 |
| 发明（设计）人： | 詹尼弗·Y·孙;段仁官;肯尼思·S·柯林斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C04B41/85 | 分类号： | C04B41/85;C04B41/81;C04B41/45;C04B35/553;C04B35/01 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 王安武 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明的实施例与适用于等离子体处理腔室中的设备的部件结构相关。使用含氟氧化物的釉料、玻璃陶瓷及其组合物将该部件结构的部分接合在一起。该接合材料抗含卤素的等离子体并且显现所需求的机械特性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 接合 曝露 等离子体 陶瓷 部件 腐蚀 试剂 方法 | ||
【主权项】：
一种适用于将陶瓷部件的多个部分接合在一起的抗腐蚀接合剂，包含：形成接合剂的氧化物以及氟化物，其中，在该接合剂与该陶瓷部件的至少两个所述部分接触而烧结后，至少一个过渡区域形成于该接合剂以及接触该接合剂的该陶瓷部件的该部分之间。
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