[发明专利]无尘室中逆转溅镀涂覆系统进料的方法及装置有效

专利信息
申请号: 200980145737.X 申请日: 2009-11-26
公开(公告)号: CN102232043A 公开(公告)日: 2011-11-02
发明(设计)人: 罗兰·弗朗茨 申请(专利权)人: 格林策巴赫机械制造有限公司
主分类号: B65G49/06 分类号: B65G49/06;C03B35/20;C23C14/56;H01L21/677
代理公司: 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 代理人: 宋合成
地址: 德国阿斯巴*** 国省代码: 德国;DE
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摘要: 发明相关于一种在无尘室中逆转溅镀系统进料的方法及装置,特别是当涂覆一光伏模块时,具有下列特征:a)一运输框架(11),用以接收光伏模块的一基板晶圆(19),b)一旋转装置,具有设置该运输框架(11)的装置,具有旋转该运输框架(11)的装置,以及具有运输该运输框架(11)的装置,c)用以使该旋转单元精准对准该溅镀涂覆系统的装置,d)一侦测单元(18),用以检查一溅镀程序,以及具有执行程序步骤的程序代码的计算机程序。
搜索关键词: 无尘室中 逆转 溅镀涂覆 系统 进料 方法 装置
【主权项】:
一种逆转溅镀涂覆系统进料的装置,以用于重复地在无尘室中供应具有不同、或相同成分的溅镀材料,该装置包括下列特征:a)运输框架(11),用以接收一基板晶圆(19);b)旋转单元,具有旋转所述运输框架(11)的装置,以及具有将所述运输框架(11)运输至不同导轨(25、27)上的装置;c)用以精准地使所述旋转单元对准所述溅镀涂覆系统的装置;d)侦测单元(18),用以检查一溅镀程序;e)用以设置矩形运输框架(11)的装置,所述矩形运输框架(11)由在左边以及右边的上部区域中的后端固定圆柱(13)以及前端固定圆柱(14)、以及在左边以及右边的下部区域中二运输滚筒(7)上的拖架所组成,其中,每一个滚筒(7)皆具备专属伺服马达,以及机械移动部件以无发射方式包裹,且由抗磨损材质制成。
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