[发明专利]无尘室中逆转溅镀涂覆系统进料的方法及装置有效
| 申请号： | 200980145737.X | 申请日： | 2009-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN102232043A | 公开（公告）日： | 2011-11-02 |
| 发明（设计）人： | 罗兰·弗朗茨 | 申请（专利权）人： | 格林策巴赫机械制造有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;C03B35/20;C23C14/56;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋合成 |
| 地址： | 德国阿斯巴*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明相关于一种在无尘室中逆转溅镀系统进料的方法及装置，特别是当涂覆一光伏模块时，具有下列特征：a)一运输框架(11)，用以接收光伏模块的一基板晶圆(19)，b)一旋转装置，具有设置该运输框架(11)的装置，具有旋转该运输框架(11)的装置，以及具有运输该运输框架(11)的装置，c)用以使该旋转单元精准对准该溅镀涂覆系统的装置，d)一侦测单元(18)，用以检查一溅镀程序，以及具有执行程序步骤的程序代码的计算机程序。 | ||
| 搜索关键词： | 无尘室中 逆转 溅镀涂覆 系统 进料 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种逆转溅镀涂覆系统进料的装置，以用于重复地在无尘室中供应具有不同、或相同成分的溅镀材料，该装置包括下列特征：a)运输框架(11)，用以接收一基板晶圆(19)；b)旋转单元，具有旋转所述运输框架(11)的装置，以及具有将所述运输框架(11)运输至不同导轨(25、27)上的装置；c)用以精准地使所述旋转单元对准所述溅镀涂覆系统的装置；d)侦测单元(18)，用以检查一溅镀程序；e)用以设置矩形运输框架(11)的装置，所述矩形运输框架(11)由在左边以及右边的上部区域中的后端固定圆柱(13)以及前端固定圆柱(14)、以及在左边以及右边的下部区域中二运输滚筒(7)上的拖架所组成，其中，每一个滚筒(7)皆具备专属伺服马达，以及机械移动部件以无发射方式包裹，且由抗磨损材质制成。
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