[发明专利]有机电子器件的制备方法无效
| 申请号： | 200980146423.1 | 申请日： | 2009-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN102224274A | 公开（公告）日： | 2011-10-19 |
| 发明（设计）人： | M·卡拉斯克-欧罗兹克;P·C·布鲁克斯;K·帕特森;F·E·迈耶;M·詹姆斯;T·库尔;D·C·米勒 | 申请（专利权）人： | 默克专利股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/20;C23C14/35;H01L51/10;H01L51/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 邓毅 |
| 地址： | 德国达*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及闭合场非平衡磁控溅射离子镀工艺在有机电子器件或其组件制备中的应用，以及可通过这种方法获得的有机电子器件或其组件。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 电子器件 制备 方法 | ||
【主权项】：
通过闭合场非平衡磁控溅射离子镀将导电材料沉积在有机材料上的方法。
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