[发明专利]外延反应器的反应室

摘要

本发明涉及基本上由中空的石英部件构成的外延反应器的反应室；该中空的石英部件包括具有圆柱体或棱柱体或圆锥体或棱锥体形状的石英部件部分(1)和设置在所述石英部件部分(1)中的轴向通孔(2)；该石英部件部分(1)适合于根据三个方向中的两个界定反应和沉积区(3)，并且适合于容纳在轴向通孔(2)内部被加热的至少一个基座(4)。该室设置有由基于石英的材料制成的且适合于将由基座(4)发出的红外辐射反射回去的反射层(5)；该反射层(5)被应用于所述石英部件部分(1)和/或被应用于反应室的石英组件。

主权项

一种基本上由中空的石英部件构成的外延反应器的反应室，其中所述中空的石英部件包括具有圆柱体或棱柱体或圆锥体或棱锥体形状的石英部件部分(1；11)和设置在所述石英部件部分(1；11)中的轴向通孔(2；12)，其中所述石英部件部分(1；11)适合于根据三个方向中的两个界定反应和沉积区(3；13)，并且适合于容纳将在所述轴向通孔(2；12)内部被加热的至少一个基座(4；14)，所述室的特征在于，所述室包括适合于将由所述基座(4；14)发出的在1,000nm和10,000nm之间，优选在1,500nm和3,000nm之间的波长范围内的红外辐射反射回去的反射层(5；15)，其中所述反射层(5；15)由基于石英的材料制成，并且其中所述反射层(5；15)被应用于所述石英部件部分(1；11)和/或被应用于所述反应室的石英组件。