[发明专利]气体供给方法

摘要

本发明提供一种能够对气体容器内的气体进行有效利用的气体供给方法。本发明基于气体使用处的最大流量(第一设定流量(Q1))和最小流量(第二设定流量(Q2))、能够以第一设定流量(Q1)供给气体的第一设定压力(P1)、能够以第二设定流量(Q2)供给气体的第二设定压力(P2)、比第一设定压力(P1)高的第三设定压力(P3)、各气体容器(SA、SB)内的剩余压力(PA、PB)、供给气体流量(Q)以及剩余压力(PA、PB)和能够供给的气体流量(QPA、QPB)之间的关系，对剩余压力(PA、PB)以及供给气体流量(Q)进行监测，从而对来自第一气体容器(SA)和第二气体容器(SB)的气体供给进行切换。

主权项

一种气体供给方法，其用于将被填充到与多个气体供给系统分别连接的气体容器中的压缩气体供给至气体使用流量变动的气体使用处，其特征在于：监测所述各气体容器内的剩余压力(PA、PB)和供给气体流量(Q)，在第一气体容器(SA)和第二气体容器(SB)各容器内的剩余压力(PA、PB)同时为第一设定压力(P1)以上的情况下，从一方的第一气体容器(SA)向气体使用处供给气体的过程中，当第一气体容器(SA)内的剩余压力(PA)降低到第一设定压力(P1)时，将向使用处的气体供给由从第一气体容器(SA)进行供给切换至从第二气体容器(SB)进行供给；切换后在从第二气体容器(SB)向气体使用处供给气体的过程中，当供给气体流量(Q)低于从具有如下范围的剩余压力(PA)的第一气体容器(SA)能够供给的气体流量(QPA)时，将向使用处的气体供给由从第二气体容器(SB)进行供给切换至从第一气体容器(SA)进行供给，该剩余压力(PA)的范围为：低于第一设定压力(P1)，且为第二设定压力(P2)以上；在从剩余压力(PA)低于第一设定压力(P1)且为第二设定压力(P2)以上的第一气体容器(SA)向气体使用处供给气体的过程中，当供给气体流量(Q)变为能够从第一气体容器(SA)供给的气体流量(QPA)以上时，将向使用处的气体供给由从第一气体容器(SA)进行供给切换至从第二气体容器(SB)进行供给；在从剩余压力(PA)低于第一设定压力(P1)且为第二设定压力(P2)以上的第一气体容器(SA)向气体使用处供给气体的过程中，当第一气体容器(SA)内的剩余压力(PA)降低至第二设定压力(P2)时，将向使用处的气体供给由从第一气体容器(SA)进行供给切换至从第二气体容器(SB)进行供给，并进行第一气体容器(SA)的容器更换；在第一气体容器(SA)内的剩余压力(PA)低于第一设定压力(P1)的情况下，从剩余压力(PB)为第一设定压力(P1)以上的第二气体容器(SB)向气体使用处供给气体的过程中，当第二气体容器(SB)内的剩余压力(PB)降低到第三设定压力(P3)时，进行第一气体容器(SA)的容器更换；(此处，所述第一设定压力(P1)为用于对能够供给与第一设定流量(Q1)对应的流量的气体的气体容器内的剩余压力进行设定的压力；所述第二设定压力(P2)为用于对能够供给与第二设定流量(Q2)对应的流量的气体的气体容器内的剩余压力进行设定的压力；所述第三设定压力(P3)为被设定成比所述第一设定压力(P1)高且比填充压力低的压力这样的压力；所述各剩余压力(PA、PB)为对所述各气体容器(SA、SB)内的压力进行检测所检测到的剩余压力；所述供给气体流量(Q)为对供给至气体使用处过程中的气体流量进行检测所检测到的气体流量；所述各气体流量(QPA、QPB)为以气体容器内的所述各剩余压力(PA、PB)能够供给的气体流量；其中，所述第一设定流量(Q1)为在气体使用处预先设定的流量；所述第二设定流量(Q2)为在气体使用处预先设定的、比所述第一设定流量(Q1)小的流量)。