[发明专利]用于分析分子污染物从样本除气的装置和方法无效

专利信息
申请号: 200980149157.8 申请日: 2009-12-01
公开(公告)号: CN102246020A 公开(公告)日: 2011-11-16
发明(设计)人: T.H.J.比肖普斯;P.K德博克斯;P.V.E.克鲁泽曼;R.J.T.索尔斯 申请(专利权)人: 皇家飞利浦电子股份有限公司
主分类号: G01N1/22 分类号: G01N1/22
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 李亚非;刘鹏
地址: 荷兰艾*** 国省代码: 荷兰;NL
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摘要: 发明涉及一种用于分析分子污染物(22)从样本(2)除气的装置(100,200)和方法。该装置(100,200)包括用于容纳样本(2)的低压腔室(1),其中该低压腔室(1)内部的压力介于10-3mbar与10mbar之间。此外,该装置(100,200)包括:用于在低压腔室(1)中提供层状气流(12,33,34)的构件(4,5,7,9),其中气流的第一部分(13,35)捕获和运输从样本(2)除气的分子污染物(22);以及样本(2)下游第一位置处的用于接收气流的第一部分(13,35)的构件(3,40)。分析器(3)分析气流的第一部分(13,35)的内含物。
搜索关键词: 用于 分析 分子 污染物 样本 装置 方法
【主权项】:
一种用于分析分子污染物(22)从样本(2)除气的装置(100,200),该装置(100,200)包括:‑ 用于容纳样本(2)的低压腔室(1),其中该低压腔室(1)内部的压力介于10‑3mbar与10mbar之间;‑ 用于在低压腔室(1)中提供层状气流(12,33,34)的构件(4,5,7,9),其中气流的第一部分(13,35)捕获和运输从样本(2)除气的分子污染物(22);‑ 样本(2)下游第一位置处的用于接收气流的第一部分(13,35)的构件(3,40);以及‑ 用于分析气流的第一部分(13,35)的内含物的分析器(3)。
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