[发明专利]用于分析分子污染物从样本除气的装置和方法无效
申请号: | 200980149157.8 | 申请日: | 2009-12-01 |
公开(公告)号: | CN102246020A | 公开(公告)日: | 2011-11-16 |
发明(设计)人: | T.H.J.比肖普斯;P.K德博克斯;P.V.E.克鲁泽曼;R.J.T.索尔斯 | 申请(专利权)人: | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
主分类号: | G01N1/22 | 分类号: | G01N1/22 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 李亚非;刘鹏 |
地址: | 荷兰艾*** | 国省代码: | 荷兰;NL |
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摘要: | 本发明涉及一种用于分析分子污染物(22)从样本(2)除气的装置(100,200)和方法。该装置(100,200)包括用于容纳样本(2)的低压腔室(1),其中该低压腔室(1)内部的压力介于10-3mbar与10mbar之间。此外,该装置(100,200)包括:用于在低压腔室(1)中提供层状气流(12,33,34)的构件(4,5,7,9),其中气流的第一部分(13,35)捕获和运输从样本(2)除气的分子污染物(22);以及样本(2)下游第一位置处的用于接收气流的第一部分(13,35)的构件(3,40)。分析器(3)分析气流的第一部分(13,35)的内含物。 | ||
搜索关键词: | 用于 分析 分子 污染物 样本 装置 方法 | ||
【主权项】:
一种用于分析分子污染物(22)从样本(2)除气的装置(100,200),该装置(100,200)包括:‑ 用于容纳样本(2)的低压腔室(1),其中该低压腔室(1)内部的压力介于10‑3mbar与10mbar之间;‑ 用于在低压腔室(1)中提供层状气流(12,33,34)的构件(4,5,7,9),其中气流的第一部分(13,35)捕获和运输从样本(2)除气的分子污染物(22);‑ 样本(2)下游第一位置处的用于接收气流的第一部分(13,35)的构件(3,40);以及‑ 用于分析气流的第一部分(13,35)的内含物的分析器(3)。
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