[发明专利]投射曝光设备中的光学元件的重力补偿

摘要

本发明涉及一种用于在投射曝光设备中安装光学元件的重力补偿器(1，2)，以及相应的投射曝光设备，其中，所述重力补偿器(1，2)至少部分地补偿安装的光学元件的重力，并同时使光学元件的位置能够变化，而所补偿的重力在位置改变期间不以不允许的方式改变。这尤其适用于要补偿大重力。此外，根据本发明的重力补偿器使得能够在不同的气体环境中使用，以及补偿相应的老化效应。

主权项

一种重力补偿器，用于在微光刻投射曝光设备中安装光学元件并补偿作用在方向z上并被施加到力作用点的力F，包括：‑补偿元件的衔铁，所述衔铁在所述力F的方向z上可移动，并包括所述力作用点，所述补偿元件在所述力F的方向z上具有第一力‑距离特征曲线，所述补偿元件具有第一支承刚度S1，所述第一支承刚度S1由包括所述力F的第一力区间ΔF1的最大和最小力之间的差ΔFF1与围绕第一点z0的第一距离区间Δz1的绝对值之间的商给出，其中，所述第一距离区间Δz1被所述第一力‑距离特征曲线分配给所述第一力区间ΔF1，所述力F被所述第一力‑距离特征曲线分配给所述第一点z0，‑引导装置，所述引导装置在所述力F的方向上具有第二力‑距离特征曲线，用于引导所述补偿元件的所述衔铁，并具有第二支承刚度S2，所述第二支承刚度S2由第二力区间ΔF2的最大和最小力之间的差ΔFF2与所述第一距离区间Δz1的绝对值的商给出，其中，所述第二力区间ΔF2由围绕所述第一点z0的第一距离区间Δz1通过所述第二力‑距离特征曲线分配，‑其中，所述重力补偿器的力由来自于所述第一力‑距离特征曲线和来自于所述第二力‑距离特征曲线的力的相加产生，并且其中‑由力的相加产生的力‑距离特征曲线具有第三支承刚度S3，其来自于包括所述力F的至少一个第三力区间ΔF3的最大和最小力之间的差ΔFF3与围绕至少一个点z0*的所述第一距离区间Δz1的绝对值的商，其中所述至少一个第三力区间ΔF3由所述产生的力‑距离特征曲线通过围绕所述至少一个点z0*的所述第一距离区间Δz1定义，并且在此情况中，所述至少一个点z0*由所述产生的力‑距离特征曲线分配给所述力F，并且其中‑所述第三支承刚度S3小于或等于所述第一支承刚度S1，以及/或者其中所述产生的力‑距离特征曲线具有彼此相距超过所述第一距离区间Δz1的至少两个点z0*，以及/或者其中，在所述产生的力‑距离特征曲线中，围绕所述力F的差ΔFF1被分配给大于所述第一距离区间Δz1的距离区间。