[发明专利]齿条-小齿轮机构、真空处理装置、齿条-小齿轮机构的驱动控制方法、驱动控制程序及记录介质

摘要

以简单的机构避免由于齿条和小齿轮的相位错位而引起齿尖彼此碰撞，从而使齿条和小齿轮顺畅地啮合。齿条-小齿轮机构设有固定于载置台(20)的齿条(16)和连结于驱动源(13)的多个小齿轮(17)，所述载置台用于搭载被搬运物并在搬运轨道上移动，这些小齿轮中，至少两个小齿轮同步旋转而依次与齿条啮合，由此将齿条从当前工序的小齿轮向下一工序的小齿轮交接而将其搬运，该齿条-小齿轮机构具有：用于检测小齿轮的相位差值的部件；该齿条-小齿轮机构具有控制装置(25)，该控制装置具有用于存储检测部件所检测到的小齿轮的相位差值的存储部(27)，该控制装置基于当前工序的小齿轮的相位差值，对下一工序的小齿轮的相位差值进行控制。

主权项

一种齿条‑小齿轮机构，该齿条‑小齿轮机构具有：齿条，其固定于载置台，该载置台在搬运轨道上移动，用于搭载被搬运物；多个小齿轮，其连结于驱动源，用于与所述齿条啮合，在这些小齿轮中，至少两个小齿轮同步旋转并依次与所述齿条啮合，由此将所述齿条从当前工序的小齿轮向下一工序的小齿轮交接而搬运所述载置台，其特征在于，该齿条‑小齿轮机构包括：用于检测所述小齿轮的相位差值的部件；控制装置，其具有用于存储所述检测部件所检测到的所述小齿轮的相位差值的存储部，该控制装置基于所述当前工序的小齿轮的相位差值，对所述下一工序的小齿轮的相位差值进行控制。