[发明专利]电子材料用清洗剂有效
| 申请号： | 200980149608.8 | 申请日： | 2009-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN102245750A | 公开（公告）日： | 2011-11-16 |
| 发明（设计）人： | 铃木一充;佐藤祥平;杉山彩代 | 申请（专利权）人： | 三洋化成工业株式会社 |
| 主分类号： | C11D10/02 | 分类号： | C11D10/02;C11D1/12;C11D3/04;C11D3/37;G11B5/84;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 张淑珍;王维玉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种电子材料用清洗剂，该电子材料用清洗剂对细小的颗粒和有机物的清洗能力优良且可降低基板上的金属污染，并且可提高制造时的产率，能在短时间内清洗，使这种非常有效的高度清洗成为可能。本发明是一种电子材料用清洗剂，所述电子材料用清洗剂含有氨基磺酸(A)、分子内具有至少一个磺酸基或该磺酸基的盐的阴离子型表面活性剂(B)、螯合剂(C)以及水；优选25℃时pH为3以下；此外，优选(B)的重均分子量为1,000～2,000,000的高分子阴离子型表面活性剂(B1)。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 材料 洗剂 | ||
【主权项】：
一种电子材料用清洗剂，其中，所述清洗剂含有氨基磺酸(A)、分子内具有至少一个磺酸基或所述磺酸基的盐的阴离子型表面活性剂(B)、螯合剂(C)以及水作为必要成分。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三洋化成工业株式会社，未经三洋化成工业株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200980149608.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种氯氟吡氧乙酸或其酯和乙羧氟草醚组合物及制备方法
- 下一篇：耐污粒子
