[发明专利]单片光电子TWE部件结构有效

专利信息
申请号: 200980150611.1 申请日: 2009-12-15
公开(公告)号: CN102317854A 公开(公告)日: 2012-01-11
发明(设计)人: K·普罗西克;R·凯泽;K-O·费尔特豪斯 申请(专利权)人: 科戈光电公司;弗朗霍夫公司
主分类号: G02F1/35 分类号: G02F1/35;G02B6/02
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 刘金凤;王忠忠
地址: 美国科*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 一种单片光电子装置具有光学连接到波导的斑点尺寸转换器。在波导的芯(54)上扩展的包层(58)与斑点尺寸转换器的包层相比更薄并且被以更高的浓度掺杂。该结构可以通过应用选择性蚀刻和增强再生长工艺以形成具有不同厚度或掺杂的包层(58)的选择性区域来制造。
搜索关键词: 单片 光电子 twe 部件 结构
【主权项】:
一种单片光电子装置,包括:波导,其包括芯、邻近该芯的包层以及连接到该波导的至少一部分的至少一个电极;以及光学连接到该波导的斑点尺寸转换器,所述斑点尺寸转换器包括芯以及邻近该芯的包层;其中,波导的包层比斑点尺寸转换器的包层被以更高的浓度掺杂。
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