[发明专利]感光浆料和使用感光浆料产生图案的方法无效
| 申请号： | 200980152929.3 | 申请日： | 2009-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN102308257A | 公开（公告）日： | 2012-01-04 |
| 发明（设计）人： | 伊藤和重;野田浩章 | 申请（专利权）人： | E.I.内穆尔杜邦公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/027 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈哲锋 |
| 地址： | 美国特*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了包含可聚合单体和光聚合反应引发剂的感光浆料，其中所述可聚合单体的玻璃化转变温度为-10℃或更低。本发明的浆料可用于形成精细图案并防止残留物残留在应除去浆料的区域。 | ||
| 搜索关键词： | 感光 浆料 使用 产生 图案 方法 | ||
【主权项】：
感光浆料，所述浆料包含可聚合单体和光聚合反应引发剂，其中所述可聚合单体的玻璃化转变温度为‑10℃或更低。
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