[发明专利]传感器装置和用于制造传感器装置的方法无效
| 申请号： | 200980154124.2 | 申请日： | 2009-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN102272569A | 公开（公告）日： | 2011-12-07 |
| 发明（设计）人： | H·本泽尔;R·京舍尔;H·京舍尔 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 传感器装置，尤其是压力传感器装置，包括一个具有主延伸平面的衬底和一个基本上平行于主延伸平面定向的传感器元件，其中，衬底包括陶瓷材料，所述衬底具有至少一个印制导线并且所述传感器元件在第一接触区域中借助倒装芯片技术与所述至少一个印制导线导电地连接，其中，所述传感器元件还在第二接触区域中与衬底机械地连接，其中，在第二接触区域中设置有一阳极键合连接部。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 装置 用于 制造 方法 | ||
【主权项】：
传感器装置(1)，尤其是压力传感器装置，包括一个具有主延伸平面(100)的衬底(2)和一个基本上平行于所述主延伸平面(100)定向的传感器元件(3)，其中，所述衬底(2)包括陶瓷材料，所述衬底(2)具有至少一个印制导线(6)并且所述传感器元件(3)在第一接触区域(4)中借助倒装芯片技术与所述至少一个印制导线(6)导电地连接，其特征在于，所述传感器元件(3)在第二接触区域(5)中与所述衬底(2)机械地连接，其中，在所述第二接触区域(5)中设置有一阳极键合连接部。
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