[发明专利]双模式质量流检验以及质量流递送系统和方法有效
| 申请号： | 200980154214.1 | 申请日： | 2009-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN102301208A | 公开（公告）日： | 2011-12-28 |
| 发明（设计）人： | 丁军华;K·扎尔卡 | 申请（专利权）人： | MKS仪器公司 |
| 主分类号： | G01F1/00 | 分类号： | G01F1/00;G01F11/00;G01F23/14 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 蔡胜利 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种系统执行流体质量流递送，并且还执行流体的质量流检验。该系统包括控制流体流入腔的入口阀、控制流体流出腔的出口阀、测量腔内流体压力的压力换能器、测量腔内流体温度的温度传感器以及控制器。控制器配置以使用腔内压力和温度变化的测量值而控制入口和出口阀的打开和关闭，以使得当处于第一模式时检验由一设备对流体流率的测量，以及当处于第二模式时以便于将所需量的流体从腔递送至处理设备。 | ||
| 搜索关键词： | 双模 质量 检验 以及 递送 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种用于流体质量流递送和用于流体质量流检验的系统，该系统包括：腔；入口阀，所述入口阀配置以控制流入腔的流体流；出口阀，所述出口阀配置以控制流出腔的流体流；压力传感器，所述压力传感器配置以测量腔内压力；以及控制器；其中控制器配置以当处于第一模式时控制入口阀和出口阀的打开和关闭，以使得检验由一设备对流体流率的测量；以及其中控制器还配置以当处于第二模式时控制入口阀和出口阀的打开和关闭，以使得将所需量的流体从腔中递送至输出处理设备中。
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