[发明专利]管靶有效
| 申请号： | 200980154378.4 | 申请日： | 2009-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN102272347A | 公开（公告）日： | 2011-12-07 |
| 发明（设计）人： | 迪特尔·乌兹格尔 | 申请（专利权）人： | 普雷克斯S.T.科技公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 车文;樊卫民 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于溅射的管靶(50)，所述管靶具有布置在圆柱形的承载管上的靶(46)。该靶(46)划分成多个部段。靶(46)相对于其转动轴线倾斜地具有至少一个槽(51-54)。 | ||
| 搜索关键词： | 管靶 | ||
【主权项】：
管靶，所述管靶具有：1.1圆柱形的承载管(23、38)，1.2划分成至少一个部段(17‑19、43‑45)的圆柱形的靶(22、36、46)，所述靶布置在所述承载管(23、38)上，1.3连接层(30、37)，所述连接层设置在所述靶(22、36、46)和所述承载管(23、38)之间，其特征在于，所述靶(22、36)以相对于所述靶的转动轴线(5、27)平行和/或倾斜的方式具有至少一个槽(4、8、10、11、13、14、15、16、21、25、26、34、40、51‑54)。
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