[发明专利]用于在工件上写入或读取图像的旋转臂有效
| 申请号： | 200980156015.4 | 申请日： | 2009-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN102362226A | 公开（公告）日： | 2012-02-22 |
| 发明（设计）人： | T.森德斯特罗姆;S.林道 | 申请（专利权）人： | 麦克罗尼克迈达塔有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B26/08;G02B26/10 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 曲莹 |
| 地址： | 瑞典*** | 国省代码： | 瑞典;SE |
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| 摘要： | 所公开的技术涉及扫描大型平基材以读取和写入图像。示例有平板显示器、PCB和光伏面板。读取和写入应广义地理解：读取可指大型工件的显微检测、探伤、度量、波谱检测、干涉测量、散射测量等，而写入可指曝光光阻材料、通过光学加热退火、烧蚀、或通过光束在表面生成任何其它的变化。具体说，我们公开一种技术，其使用旋转或摇摆臂(1140A、1140B、1140C)，所述臂在扫描时横跨工件(1111、1112)描绘出一圆弧，而不是跟随常规的直线运动。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 工件 写入 读取 图像 旋转 | ||
【主权项】：
一种对工件进行写入或读取的方法，包括：使用固定光学图像装置来形成或收集被中继的图像信息；在固定光学图像装置与工件的表面之间沿至少一个旋转臂的光学系统中继图像信息；和在工件的整个表面上重复地扫描弯曲条纹，以写入或读取由被拼接的重叠图像形成的连续图像补偿图像区域的位移。
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