[发明专利]图案化方法有效
| 申请号： | 200980156190.3 | 申请日： | 2009-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN102307734A | 公开（公告）日： | 2012-01-04 |
| 发明（设计）人： | 祖丽君;马修·H·弗雷;苏赖斯·艾耶尔 | 申请（专利权）人： | 3M创新有限公司 |
| 主分类号： | B44C1/22 | 分类号： | B44C1/22;H01L21/64 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 张爽;樊卫民 |
| 地址： | 美国明*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种图案化方法，其包括(a)提供至少一种具有至少一个主表面的基材；(b)提供至少一种包含至少一种官能化分子的图案化组合物，所述官能化分子为全氟聚醚有机硫化合物；(c)以使得形成所述主表面的至少一个官能化区域和至少一个非官能化区域的方式将所述图案化组合物施加到所述基材的所述主表面；以及(d)蚀刻所述非官能化区域的至少一部分。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 方法 | ||
【主权项】：
一种方法，其包括(a)提供至少一种具有至少一个主表面的基材；(b)提供至少一种包含至少一种官能化分子的图案化组合物，所述官能化分子为全氟聚醚有机硫化合物；(c)以使得形成所述主表面的至少一个官能化区域和至少一个非官能化区域的方式将所述图案化组合物施加到所述基材的所述主表面；以及(d)蚀刻所述非官能化区域的至少一部分。
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