[发明专利]有助于丝网印刷处理的改善的基板支撑材料无效
| 申请号： | 200980157597.8 | 申请日： | 2009-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN102326459A | 公开（公告）日： | 2012-01-18 |
| 发明（设计）人： | A·巴希尼;M·佳利亚佐 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H05K3/12 | 分类号： | H05K3/12;B41F15/20;H05K3/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陆勍;毛力 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于在处理期间支撑基板(150)的支撑材料(137)；该支撑材料(137)包含非交织材料，所述非交织材料包含顶部区域与底部区域，其中该顶部区域(420)相比该底部区域(410)更为低柔性。该非交织材料也具有与该顶部区域相邻的第一表面(141A)、以及第一端与第二端。在一些实施例中，底部区域包含合成纤维且顶部区域包含聚合材料。本发明的其它实施例包含用于在丝网印刷腔室中处理基板的设备与方法，该设备与方法可利用非交织支撑材料而将重复及精确的丝网印刷图案传送到一个或多个经处理的基板上。在一个实施例中，丝网印刷腔室被用于在结晶硅太阳能电池生产线的一部分内执行丝网印刷处理，其中使用所期望的材料对基板进行图案化。 | ||
| 搜索关键词： | 有助于 丝网 印刷 处理 改善 支撑 材料 | ||
【主权项】：
一种用于在处理期间支撑基板的支撑材料，包括：非交织材料，包括：顶部区域与底部区域，所述非交织材料具有与所述顶部区域邻近的第一表面、以及第一端与第二端，其中所述顶部区域比起所述底部区域更为低柔性；多个特征，形成在所述第一表面的区域上，所述区域以一方向延伸于所述第一端与所述第二端间，其中所述非交织材料在基本垂直于所述第一表面的方向上具有一厚度，以在对与所述材料的第一表面相对的第二表面施加真空时能使空气或其它气体通过。
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