[发明专利]多层图案的丝网印刷方法及设备无效
| 申请号： | 200980157598.2 | 申请日： | 2009-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN102325654A | 公开（公告）日： | 2012-01-18 |
| 发明（设计）人： | A·巴希尼;M·佳利亚佐 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B41F15/08 | 分类号： | B41F15/08;H01L21/68;H01L21/00;H01L31/18;H05K3/12 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陆勍 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明的实施例一般地提供在衬底上丝网印刷多层图案的设备与方法。在一实施例中，第一图案层并同多个对准标记印刷在衬底的表面上。相对于所述衬底的特征来量测对准标记的位置，以确定所述图案的实际位置。将所述实际位置与所述预期位置作比较以确定在所述衬底上的所述图案的布置的位置误差。为了更精确的布置并减少位置误差，可使用所述信息来调整要印刷在所述第一层上的下一个图案层的布置。 | ||
| 搜索关键词： | 多层 图案 丝网 印刷 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种丝网印刷工艺，包含以下步骤：接收衬底，所述衬底具有印刷在所述衬底的表面上的第一图案层，其中所述图案包括至少两个对准标记；相对于所述衬底的至少一个特征，确定所述至少两个对准标记的实际位置；比较所述至少两个对准标记的所述实际位置与所述至少两个对准标记的预期位置；确定所述至少两个对准标记的实际位置与预期位置间的偏移；考量所确定的偏移来调整丝网印刷装置；以及将第二图案层印刷在所述第一图案层上。
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