[发明专利]微可动元件阵列及通信设备有效
申请号: | 200980158424.8 | 申请日: | 2009-03-31 |
公开(公告)号: | CN102369153A | 公开(公告)日: | 2012-03-07 |
发明(设计)人: | 壶井修;高马悟觉;松本刚 | 申请(专利权)人: | 富士通株式会社 |
主分类号: | B81B3/00 | 分类号: | B81B3/00;G02B26/08 |
代理公司: | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人: | 柳春雷 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种微可动元件阵列(X1),包括框(30)、包含具有第一可动主部(11、11’)并被支撑于框(30)的多个第一可动部(10、20)的第一可动部列、框(30)、以及包含具有第二可动主部(11、11’)并被支撑于框(30)的多个第二可动部(10、20)的第二可动部列。两个框(30)以第一可动部列及第二可动部列被相对配置的方式被层叠配置。在第一可动部列中,多个第一可动部(10、20)被配置为第一可动主部(11、11’)及空隙G2被交替配置并且多个第一可动主部(11、11’)被排列在一个方向上,在第二可动部列中,多个第二可动部(10、20)被配置为各第二可动主部(11、11’)与第一可动部列的各空隙G2相对并且多个第二可动主部(11、11’)被排列在一个方向上。 | ||
搜索关键词: | 微可动 元件 阵列 通信 设备 | ||
【主权项】:
一种微可动元件阵列,包括:第一框;第一可动部列,包含多个第一可动部,所述第一可动部具有第一可动主部并被支撑于所述第一框上;第二框;以及第二可动部列,包含多个第二可动部,所述第二可动部具有第二可动主部并被支撑于所述第二框上;其中,按照使所述第一可动部列及所述第二可动部列被相对配置的方式,来层叠配置所述第一框及所述第二框,在所述第一可动部列中配置所述多个第一可动部,使得第一可动主部及空隙被交替配置并且多个第一可动主部被排列在一个方向上,在所述第二可动部列中配置所述多个第二可动部,使得各第二可动主部与所述第一可动部列的一个所述空隙相对并且多个第二可动主部被排列在所述一个方向上。
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