[发明专利]在X射线产生中液体金属靶的供应有效
| 申请号： | 200980158566.4 | 申请日： | 2009-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN102369587A | 公开（公告）日： | 2012-03-07 |
| 发明（设计）人： | 奥斯卡·汉伯格;汤米·图希玛;米卡尔·奥滕达尔 | 申请（专利权）人： | 伊克斯拉姆公司 |
| 主分类号： | H01J35/08 | 分类号： | H01J35/08 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 周靖;郑霞 |
| 地址： | 瑞典*** | 国省代码： | 瑞典;SE |
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| 摘要： | 呈现了用于向相互作用区域提供液体金属的闭环循环，在该相互作用区域，电子束撞击液体金属以产生X射线。在根据本发明的方法中，使用高压泵(312)将液体金属的压强升高到至少10巴。加压的液体金属然后被引导至喷嘴(332)并且以空间连续的喷射流的形式喷射进入真空腔(330)。在通过真空腔以后，在收集容器(334)内收集液体金属，并且例如使用启动泵(322)将液体金属的压强升高到适于高压泵的入口的入口压强。本发明还涉及对应的循环系统和装备这样的循环系统的X射线源。 | ||
| 搜索关键词： | 射线 产生 液体 金属 供应 | ||
【主权项】：
一种用于闭环供应液体金属到相互作用区域的方法(100)，在所述相互作用区域中，电子束撞击所述液体金属以产生X射线，所述方法包括以下步骤：使用高压泵升高(110)在闭环循环系统的第一部分内的所述液体金属的压强到至少10巴；引导(112)至少10巴压强的所述液体金属到喷嘴；从所述喷嘴喷射(116)所述液体金属到真空腔中以产生液体金属喷射流，所述相互作用区域位于所述真空腔中；在收集容器内收集(118)所喷射的液体金属；在位于在所述液体金属的流动方向上的所述收集容器和所述高压泵之间的所述闭环循环系统的第二部分内，升高(120)所收集的液体金属的压强到适合于所述高压泵的入口压强，所述入口压强至少是0.1巴；和重复上面的步骤以实现液体金属到所述相互作用区域的闭环供应。
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