[发明专利]六氯乙硅烷的回收方法及用于该方法的设备有效
申请号: | 200980158582.3 | 申请日: | 2009-03-30 |
公开(公告)号: | CN102365235A | 公开(公告)日: | 2012-02-29 |
发明(设计)人: | 松尾靖史;竹村晃一;杉村真 | 申请(专利权)人: | 电气化学工业株式会社 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 冯雅 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及由四氯硅烷和氢气生产三氯硅烷时作为副产物生成的六氯乙硅烷的回收方法,其具有如下工序:在700~1400℃范围的温度下,使含有气化的四氯硅烷和氢气的原料气体发生反应从而得到反应生成气体的工序;将反应生成气体冷却至30~60℃的温度范围从而得到含有六氯乙硅烷的冷凝液的工序;以及从冷凝液中浓缩回收含有六氯乙硅烷的高沸点物的工序。 | ||
搜索关键词: | 六氯乙 硅烷 回收 方法 用于 设备 | ||
【主权项】:
六氯乙硅烷的回收方法,具有如下工序:在700~1400℃范围的温度下,使含有气化的四氯硅烷和氢气的原料气体发生反应从而得到反应生成气体的工序;将所述反应生成气体冷却至30~60℃的温度范围从而得到含有六氯乙硅烷的冷凝液的工序;以及从所述冷凝液中浓缩回收含有六氯乙硅烷的高沸点物的工序。
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