[发明专利]移动台、具有移动台的输送装置及带电粒子束装置无效
| 申请号： | 200980158961.2 | 申请日： | 2009-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN102414811A | 公开（公告）日： | 2012-04-11 |
| 发明（设计）人： | 宗石猛;明石幸治 | 申请（专利权）人： | 京瓷株式会社 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 蒋亭 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明的移动台具有：能够沿着第一方向移动的第一台(12)；至少一部分位于第一台(12)上，能够沿着与第一方向交叉的第二方向移动的第二台(13)；生成用于使第二台(13)沿着第二方向移动的驱动力的生成部(MY)；从生成部(MY)向第二台(13)传递驱动力，并且至少一部分伴随着第一台(12)的移动而进行动作的动力传递部(17、20)。 | ||
| 搜索关键词： | 移动 具有 输送 装置 带电 粒子束 | ||
【主权项】：
一种移动台，其具有：第一台，其能够沿着第一方向进行移动；第二台，其至少一部分位于所述第一台上，且能够沿着与所述第一方向交叉的第二方向进行移动；生成部，其生成用于使所述第二台沿着所述第二方向移动的驱动力；动力传递部，其从所述生成部向所述第二台传递所述驱动力，且至少一部分伴随着所述第一台的移动而进行动作。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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