[发明专利]在基板上形成有机材料层的方法

摘要

一种用于在连续式沉积系统中在基板上形成有机材料层的方法，其中用预定的非恒定的沉积率分布来沉积有机材料，所述分布包括第一预定沉积率范围以及第二预定沉积率范围，第一预定沉积率范围被设置成用第一预定平均沉积率来沉积有机材料层的至少第一单层，第二预定沉积率范围被设置成用第二预定平均沉积率来沉积有机材料层的至少第二单层。通过注入器的开口注入有机材料的过程被控制，以实现预定沉积率分布。

主权项

一种用于在连续式沉积系统中的基板上形成具有层厚度的有机材料层的方法，其中，通过注入器的多个开口按预定的沉积率分布把有机材料沉积到到基板上，所述注射器相对于基板而运动，其特征在于，预定的沉积率分布是非恒定沉积分布，所述非恒定沉积分布包括第一沉积率范围和第二沉积率范围，所述第一沉积率范围被设置成按第一预定平均沉积率把有机材料层的至少一个第一单层沉积到基板上，所述第二沉积率范围被设置成按第二预定平均沉积率把有机材料层的至少一个第二单层沉积到设置在基板上的至少第一单层之上，第一平均沉积率小于第二平均沉积率，并且通过注入器的开口朝着基板注入有机材料的注入过程被控制以实现预定的沉积率分布。