[发明专利]放射线检测器的制造方法、放射线检测器以及放射线摄像装置有效
申请号: | 200980159679.6 | 申请日: | 2009-04-03 |
公开(公告)号: | CN102460215A | 公开(公告)日: | 2012-05-16 |
发明(设计)人: | 德田敏;冈本保;岸原弘之;贝野正知;吉牟田利典;田边晃一 | 申请(专利权)人: | 株式会社岛津制作所;独立行政法人国立高等专门学校机构 |
主分类号: | G01T1/24 | 分类号: | G01T1/24;H01L31/09 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 根据本发明的放射线检测器的制造方法、放射线检测器以及放射线摄像装置,在变换层中采用Cl掺杂CdZnTe,将Cl浓度设为1ppmwt以上且3ppmwt以下,将Zn浓度设为1mol%以上且5mol%以下,由此能够形成最适合作为放射线检测器的变换层。由此,能够提供一种以下放射线检测器的制造方法、放射线检测器以及放射线摄像装置:通过掺杂适当浓度的Cl而能够保护晶界的缺陷能级,并且,通过掺杂适当浓度的Zn能够减少漏电流并维持对放射线的积分灵敏度。 | ||
搜索关键词: | 放射线 检测器 制造 方法 以及 摄像 装置 | ||
【主权项】:
一种放射线检测器,具备将放射线变换为电荷信号的变换层,该放射线检测器的特征在于,上述变换层是Zn浓度为1mol%以上且5mol%以下而Cl浓度为1ppmwt以上且3ppmwt以下的Cl掺杂CdZnTe多晶化合物半导体层。
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