[发明专利]作为疏水性涂层的功能化全氟聚醚材料无效
| 申请号： | 200980160376.6 | 申请日： | 2009-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN102804061A | 公开（公告）日： | 2012-11-28 |
| 发明（设计）人： | G.D.欣奇;S.查芬斯;K.P.德坎 | 申请（专利权）人： | 惠普开发有限公司 |
| 主分类号： | G03C1/675 | 分类号： | G03C1/675;G03F7/004 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 吕彩霞;艾尼瓦尔 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 在一些实施方案中，非限制性地，提供疏水性光致抗蚀剂材料和制备该光致抗蚀剂材料的方法。因与功能化全氟聚醚的受控化学反应产生高分辨率不溶性的或溶解性更大的聚合物结构，由此衍生所述光致抗蚀剂材料。还提供了涂布喷墨印刷头表面和处理涂布的喷墨印刷头表面的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 作为 疏水 涂层 功能 化全氟聚醚 材料 | ||
【主权项】：
一种疏水性光致抗蚀剂材料用制剂，其含有功能化全氟聚醚。
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