[发明专利]放射线检测器

摘要

本发明提供一种放射线检测器(1)，该放射线检测器(1)沿共用电极(5)的外缘部在高电阻膜(7)的上表面上具有阻挡层(27)，从而能够防止无定形半导体层(9)与固化性合成树脂(29)的化学反应。另外，阻挡层(27)与固化性合成树脂膜(29)间具有粘合性，从而能够防止由温度变化导致在阻挡层(27)与固化性合成树脂膜(29)间的界面处发生剥离等而使强度不充分、从而降低抑制翘曲、龟裂的效果。另外，由于阻挡层(27)的材料是不含有与无定形半导体层(9)发生化学反应的物质的绝缘材料，因此能够防止阻挡层(27)的材料的含有成分与半导体层的化学反应。由此，能够防止电场集中的共用电极(5)外缘部的沿面放电。

主权项

一种放射线检测器，其特征在于，具有：(a)放射线感应型的半导体层，其利用放射线的入射生成载流子；(b)高电阻膜，其以覆盖上述半导体层的上表面的方式形成，选择性地使载流子透过；(c)共用电极，其形成在上述高电阻膜的上表面上，对上述高电阻膜及上述半导体层施加偏压；(d)矩阵基板，其形成在上述半导体层的下表面上，对每个像素蓄积由上述半导体层生成的载流子并读出该载流子；(e)固化性合成树脂膜，其覆盖形成在上述矩阵基板的上表面上的上述半导体层、上述高电阻膜及上述共用电极的整个表面；(f)绝缘性的辅助板，其以夹着上述固化性合成树脂膜地与上述矩阵基板相对的方式配置，具有与矩阵基板同等程度的热膨胀系数；以及(g)阻挡层，其沿上述共用电极的外缘部形成在上述高电阻膜的上表面上，防止上述半导体层与上述固化性合成树脂膜的化学反应，并且与上述固化性合成树脂膜间具有粘合性，由不与上述半导体层发生化学反应的绝缘材料形成。