[发明专利]涡轮分子泵及转子的制造方法有效
| 申请号： | 200980162169.4 | 申请日： | 2009-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN102597527A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 筒井慎吾 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供涡轮分子泵及涡轮分子泵的转子的制造方法。该涡轮分子泵具有：转子(4)，其形成有多层旋转叶轮(19)；多层固定叶轮(21)；泵壳体(7)，其用于容纳转子(4)及多层固定叶轮(21)，且该泵壳体(7)形成有泵进气口(7a)；将转子(4)的面向进气口的表面设为第1辐射系数，将由旋转叶轮(19)及固定叶轮(21)构成的多个叶轮层内的、能够从进气口看到的叶轮层的表面设为第1辐射系数，将多个叶轮层内的、未能从进气口看到的叶轮层表面设为大于第1辐射系数的第2辐射系数。 | ||
| 搜索关键词： | 涡轮 分子 转子 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种涡轮分子泵，其特征在于，该涡轮分子泵包括：转子，其形成有多层旋转叶轮；多层固定叶轮；泵壳体，其用于容纳上述转子及上述多层固定叶轮，且该泵壳体形成有泵进气口；将上述转子的面向上述进气口的表面设为第1辐射系数，将由上述旋转叶轮及固定叶轮构成的多个叶轮层内的、能够从上述进气口看到的叶轮层表面设为上述第1辐射系数，将上述多个叶轮层内的、未能从上述进气口看到的叶轮层表面设为大于上述第1辐射系数的第2辐射系数。
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