[发明专利]用于测量被检面的形状的装置和用于计算被检面的形状的程序

摘要

测量装置包括测量单元和计算单元。该测量单元设定被检面的一部分作为测量范围，并且测量该被检面的形状以便在多个测量范围中，每一个测量范围与其它测量范围中的至少一个形成重叠区域。计算单元计算以如下方式在测量范围中计算被检面的形状：读出每一测量范围中的测量数据，并且通过多项式表达每一测量的误差，该多项式包含其系数值针对各测量范围设定被设定的项，和其系数值在不考虑各测量范围设定的情况下被设定的项；该多项式的各系数值是通过将重叠区域中的多项式的每个项的数据以及测量数据代入通过使用最小二乘法由重叠区域中的测量数据获得的多项式的各系数的矩阵方程、并且对于已被代入该数据的矩阵方程执行奇异值分解而获得的；以及通过使用各系数校正各测量范围的测量数据。

主权项

一种测量装置，包括测量被检面的形状的测量单元和通过使用测量单元所获得的测量数据计算被检面的形状的计算单元，其中，测量单元在被检面的一部分中设定多个测量区，并且以所述多个测量区中的每一个与其它测量区中的至少一个形成重叠区域的方式测量被检面的形状，并且，其中，计算单元读取测量单元所获得的测量区中的每一个的测量数据项，将每一测量的测量误差表达为多项式，所述多项式包含具有值依赖于测量区的设定的系数的项和具有值不依赖于测量区的设定的系数的项，通过向重叠区域的测量数据项中的每一个应用最小二乘法，获得关于所述多项式的系数的矩阵方程，将重叠区域的所述多项式的各项的数据以及测量数据项中的每一个代入所述矩阵方程，由已被代入该数据的所述矩阵方程的奇异值分解计算所述多项式的系数，并且，通过使用被计算出的系数校正测量区的测量数据项中的每一个，并且通过使用已被校正的测量数据项在所述多个测量区中计算被检面的形状。