[发明专利]TFT基板检查装置以及TFT基板检查方法

摘要

包括缺陷检测部，该缺陷检测部基于二次电子检测器的检测信号及热检测器的检测信号，对TFT基板的缺陷进行检测，缺陷检测部包括：TFT阵列缺陷检测部，基于二次电子的检测器的检测信号来对TFT阵列的缺陷进行检测；以及短路缺陷检测部，基于热检测器的检测信号来对短路缺陷进行检测，TFT阵列缺陷检测部依次从基板所具有的多个面板中选择一个面板，进行TFT阵列缺陷检测，短路缺陷检测部同时对基板所具有的全部的面板进行短路缺陷检测。当对于形成有多个面板的基板，进行利用电子束照射的缺陷检测与利用热检测的短路缺陷检测时，使整个基板的缺陷检测时间缩短。

主权项

一种TFT基板检查装置，其特征在于包括：真空腔室，在真空状态下收纳着基板；驱动信号供给部，将驱动信号供给至所述基板的TFT阵列；电子束源，将电子束照射至所述基板；二次电子检测器，对因所述电子束的照射而从所述基板释放出的二次电子进行检测；热检测器，对从被供给了所述驱动信号的所述基板辐射出的散发热量进行检测；以及缺陷检测部，基于所述二次电子检测器的检测信号及所述热检测器的检测信号来对TFT基板的缺陷进行检测，所述缺陷检测部包括：TFT阵列缺陷检测部，基于扫描图像来对所述TFT阵列的缺陷进行检测，所述扫描图像是根据所述二次电子检测器的检测信号获得的图像；及短路缺陷检测部，基于热分布图像来对短路缺陷进行检测，所述热分布图像是根据所述热检测器的检测信号获得的图像，所述TFT阵列缺陷检测部依次从所述基板所具有的多个面板中选择一个面板，进行TFT阵列缺陷检测，所述短路缺陷检测部同时对所述基板所具有的全部的面板进行短路缺陷检测。