[其他]用于等离子体供给装置的模块和等离子体供给装置有效
| 申请号： | 200990100702.X | 申请日： | 2009-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN202721890U | 公开（公告）日： | 2013-02-06 |
| 发明（设计）人： | D·克劳瑟 | 申请（专利权）人： | 许廷格电子两合公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H03K17/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 曾立 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于等离子体供给装置(10，40，60)的模块(11，12，61-76)，所述等离子体供给装置用于在1-1000MHz范围的频率下以大于500W的功率为等离子体加工装置或者气体激光器供给等离子体，所述模块具有模块衬底(21，22)，在所述模块衬底上设置有一个或者多个印制导线(23，24)，并且所述模块具有至少一个与至少一个印制导线(23，24)连接的GaN半导体开关元件(13-16)以及一个所分配的驱动器(17-20)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 等离子体 供给 装置 模块 | ||
【主权项】：
用于等离子体供给装置(10，40，60)的模块(11，12，61‑76)，所述等离子体供给装置用于在1‑1000MHz范围内的频率下以大于500W的功率为等离子体加工或者气体激光器供给等离子体，所述模块具有模块衬底(21，22)，在所述模块衬底上设置有一个或者多个印制导线(23，24)，并且所述模块具有至少一个设置在所述模块(11，12，61‑76)上的、与至少一个印制导线(23，24)连接的氮化镓(GaN)半导体开关元件(13‑16)。
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