[发明专利]基于MEMS技术的可调带通滤波器无效
申请号: | 201010000943.6 | 申请日: | 2010-01-21 |
公开(公告)号: | CN101777677A | 公开(公告)日: | 2010-07-14 |
发明(设计)人: | 邓中亮;张乃柏;黄建明;韩柯 | 申请(专利权)人: | 北京邮电大学 |
主分类号: | H01P1/20 | 分类号: | H01P1/20;B81B7/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100876北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 基于MEMS(微电子机械系统)技术制作的可调带通滤波器属于RF MEMS(射频微电子机械系统)领域。共面波导的信号线被切断可以使大部分频率段阻断,共面波导信号线和地在厚度上满足一定不同值,且在被切断信号线上方加载MEMS开关是带通滤波器可调的关键所在,a)共面波导信号线特征,若信号线没有被切断,则不能构成带通滤波器;b)共面波导信号线和地厚度特征,若信号线和地的厚度没有满足一定不同值,则中心频率的调节范围将很小;c)MEMS开关高度的连续变化使得带通滤波器连续可调。 | ||
搜索关键词: | 基于 mems 技术 可调 带通滤波器 | ||
【主权项】:
基于MEMS(微电子机械系统)技术的可调带通滤波器结构,包括共面波导结构,MEMS开关,其特征在于共面波导信号线(1)的中间部位(3)被切断;在信号线部位(3)上方加载MEMS开关(9);MEMS开关高度(6)通过加载在信号线和地之间的直流电压不同来调节。
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