[发明专利]三坐标测量机

摘要

一种三坐标测量机，具备：测头，其构成为能够在一定的范围内移动，具有测量触头；移动机构，其移动测头；以及控制装置，其控制移动机构。控制装置具备根据移动机构的移动量以及测头的移动量来算出测量触头的位置的测量值算出部(53)。测量值算出部(53)具备：校正参数算出部(531)，其根据测量被测量物时的测量条件算出用于校正测头的移动量的校正参数；校正部(532)，其根据校正参数对测头的移动量进行校正；以及移动量合成部(533)，其通过对移动机构的移动量和由校正部(532)校正后的测头的移动量进行合成来算出测量触头的位置。

主权项

一种三坐标测量机，具备：测头，其构成为能够在一定的范围内移动，具有与被测量物相接触的测量触头；移动机构，其保持并且移动上述测头；以及控制装置，其控制上述移动机构，该三坐标测量机在将上述测头推压到上述被测量物的状态下通过使上述测量触头沿着上述被测量物的表面移动来测量上述被测量物，该三坐标测量机的特征在于，上述控制装置具备：移动量获取部，其获取上述移动机构的移动量以及上述测头的移动量；校正参数算出部，其算出用于对由上述移动量获取部所获取的上述测头的移动量进行校正的校正参数；校正部，其根据上述校正参数对由上述移动量获取部所获取的上述测头的移动量进行校正；以及移动量合成部，其通过对上述移动机构的移动量和由上述校正部校正后的上述测头的移动量进行合成来算出上述测量触头的位置，其中，上述校正参数算出部根据测量上述被测量物时的测量条件来算出上述校正参数。