[发明专利]一种控制抛光垫使用时数的方法和装置无效
| 申请号： | 201010002833.3 | 申请日： | 2010-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN102126174A | 公开（公告）日： | 2011-07-20 |
| 发明（设计）人： | 翟剑;刘毅;陶克;杨建忠 | 申请（专利权）人： | 和舰科技(苏州)有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 215025 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种控制抛光垫使用时数的方法和装置，该方法包括：步骤1：获取晶片加工机台上抛光垫的使用时数；步骤2：将所获取的使用时数与预定值进行比较，当所述使用时数大于所述预定值时，发出警告，否则，转至步骤1。本发明通过将抛光垫的使用时数与预定值进行比较，当使用时数大于预定值时，发出警告，以提醒工作人员更换抛光垫。因此，本发明不需要工作人员去查看机台端信息，而可以自动控制抛光垫的使用时数，从而能够有效的防止因抛光垫使用时数超过管制上限而导致的产品报废。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 控制 抛光 使用 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种控制抛光垫使用时数的方法，包括：步骤1：获取晶片加工机台上抛光垫使用时数；步骤2：将所获取的使用时数与预定值进行比较，当所述使用时数大于所述预定值时，发出警告，否则，转至步骤1。
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