[发明专利]微电子机械系统器件及其制造方法无效
| 申请号： | 201010003178.3 | 申请日： | 2010-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN101780941A | 公开（公告）日： | 2010-07-21 |
| 发明（设计）人： | 木原龙儿 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 陈海红;周春燕 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种MEMS器件及其制造方法，使MEMS器件的工作精度提高。本发明的MEMS器件具备：基板(10)和形成于该基板(10)上的MEMS结构体(20)；其中，该MEMS结构体(20)具有工作部结构(22)，该工作部结构(22)具备形成于基板(10)上的支撑部(22S)和从该支撑部延伸设置并构成为在基板(10)上可以动作的可动部(22M)；该工作部结构(22)在可动部(22M)上具有剖面极小部(22B)，该剖面极小部其与从工作部结构(22)的前述支撑部朝向前述可动部的方向正交的剖面的面积比前述可动部的剖面面积小，且该剖面极小部由在平面图案(20U)中设置的边界图案形状(22v)形成。 | ||
| 搜索关键词： | 微电子 机械 系统 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种微电子机械系统器件，其特征在于，具备：基板和形成于该基板上的微电子机械系统结构体；其中，该微电子机械系统结构体具有工作部结构，该工作部结构具备支撑部和可动部，所述支撑部形成于前述基板上，所述可动部从该支撑部延伸设置并构成为在前述基板上可以动作；该工作部结构在前述可动部上具有剖面极小部，该剖面极小部其与从前述工作部结构的前述支撑部朝向前述可动部的方向正交的剖面的面积比前述可动部的剖面面积小，且该剖面极小部由在前述工作部结构的平面图案中设置的边界图案形状形成。
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