[发明专利]具有侦测窗的研磨垫及其制造方法有效
| 申请号： | 201010003339.9 | 申请日： | 2010-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN102133734A | 公开（公告）日： | 2011-07-27 |
| 发明（设计）人： | 白昆哲;李炫宗;王昭钦;杨伟文 | 申请（专利权）人： | 智胜科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24D3/00;B24D11/00;B24D18/00 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 刘芳 |
| 地址： | 中国台湾*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有侦测窗的研磨垫及其制造方法，首先包括预置一拟侦测窗在一模具内；接着，在模具中填入一研磨层前驱物并进行固化程序以形成一研磨层，其中拟侦测窗与研磨层两者之间可完全分离；之后，分离拟侦测窗与研磨层，以在研磨层中形成一侦测窗开口。侦测窗开口的形成方法，也可选择以模具中具有一凸起结构来取代拟侦测窗。接着，灌注一侦测窗前驱物在侦测窗开口中并进行固化程序以形成一侦测窗。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 侦测 研磨 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种具有侦测窗的研磨垫制造方法，其特征在于，包括：预置一拟侦测窗在一模具内；在该模具中填入一研磨层前驱物并进行固化程序以形成一研磨层，该拟侦测窗与该研磨层两者之间可完全分离；分离该拟侦测窗与该研磨层，以在该研磨层中形成一侦测窗开口；以及灌注一侦测窗前驱物在该侦测窗开口中并进行固化程序以形成一侦测窗。
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