[发明专利]压电振动片和压电器件无效
申请号: | 201010004779.6 | 申请日: | 2005-10-20 |
公开(公告)号: | CN101820263A | 公开(公告)日: | 2010-09-01 |
发明(设计)人: | 棚谷英雄 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | H03H9/02 | 分类号: | H03H9/02;H03H9/21 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 黄纶伟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 压电振动片和压电器件。本发明的课题是提供一种在促进小型化的基础上,针对周围温度变化的特性良好的压电振动片和压电器件。作为解决手段,本发明的压电振动片具有:由压电材料形成的预定长度的基部;从基部的一端侧延伸的多个振动臂;以及支持用臂,其从基部沿所述振动臂延伸,各振动臂具有:从所述振动臂的相对于基部的连接根部的位置处向振动臂的末端进行缩幅的缩幅部;沿振动臂的长度方向形成的长槽;以及在长槽内形成的驱动用电极,长槽位于缩幅部上,缩幅部的末端侧的终端上具有振动臂的宽度尺寸转变为固定或增加的宽度变化变更点(P),变更点(P)设置在比长槽的末端部更靠近振动臂的末端侧的位置。 | ||
搜索关键词: | 压电 振动 器件 | ||
【主权项】:
一种压电振动片,其特征在于,具有:由压电材料形成的预定长度的基部;从所述基部的一端侧延伸的多个振动臂;以及支持用臂,其从所述基部沿所述振动臂延伸,所述各振动臂具有:从所述振动臂的相对于所述基部的连接根部的位置处向所述振动臂的末端进行缩幅的缩幅部;沿所述振动臂的长度方向形成的长槽;以及在所述长槽内形成的驱动用电极,所述长槽位于所述缩幅部上,所述缩幅部的末端侧的终端上具有所述振动臂的宽度尺寸转变为固定或增加的宽度变化变更点(P),所述变更点(P)设置在比所述长槽的末端部更靠近所述振动臂的末端侧的位置。
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