[发明专利]硅料专用烘箱无效
申请号: | 201010018234.0 | 申请日: | 2010-01-20 |
公开(公告)号: | CN101749929A | 公开(公告)日: | 2010-06-23 |
发明(设计)人: | 蒋新民 | 申请(专利权)人: | 常州亿晶光电科技有限公司 |
主分类号: | F26B9/06 | 分类号: | F26B9/06;F26B3/02;F26B21/00;F26B25/22 |
代理公司: | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人: | 周祥生 |
地址: | 213200 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种硅料专用烘箱,包括保温壳体、内胆、高温气腔、通热风道、加热器、循环风机、抽湿风机、排湿管、湿度传感器和温度传感器,在内胆的顶部设有高温气腔,在内胆周围设有通热风道,在其中设有加热器,在高温气腔与通热风道之间装有循环风机,抽湿风机与内胆的内腔相通;温度传感器和湿度传感器的设立实现了硅料烘箱的自动化控制。烘箱内部的热气流能形成回流,便于热气流与硅料充分接触,抽湿风机不仅能及时将烘箱内的水汽抽出,而且能使烘箱内形成适度真空,有利于降低水份汽化温度,加速烘干速度,节能效果明显,能大幅度降低能耗和人力成本。 | ||
搜索关键词: | 专用 烘箱 | ||
【主权项】:
一种硅料专用烘箱,其特征是:包括保温壳体(1)、内胆(2)、通热风道(3)、加热器(4)、循环风机(5)、抽湿风机(6)、排湿管(7)、湿度传感器(8)和温度传感器(9),内胆(2)置于保温壳体(1)内,在内胆(2)的顶部设有高温气腔(10),高温气腔(10)由内胆(2)的顶部与保温壳体(1)的内腔顶部围合成,高温气腔(10)通过透气孔(13)与内胆(2)的内腔相通;所述通热风道(3)由保温壳体(1)的内腔与内胆(2)围合而成,加热器(4)设置在通热风道(3)内,通热风道(3)通过透气孔(13)与内胆(2)的内腔相通;在高温气腔(10)与通热风道(3)之间装有循环风机(5),抽湿风机(6)安装在保温壳体(1)的顶部,抽湿风机(6)的吸风口与内胆(2)的内腔相通;在内胆(2)的内腔中设有温度传感器(9)和湿度传感器(8),加热器(4)由温度传感器(9)控制,湿度传感器(8)控制整个烘箱。
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