[发明专利]传递工件进出真空制程腔的装置及方法无效
| 申请号： | 201010022553.9 | 申请日： | 2010-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN102122627A | 公开（公告）日： | 2011-07-13 |
| 发明（设计）人： | 陈炯 | 申请（专利权）人： | 上海凯世通半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 薛琦;朱水平 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种传递工件进出真空制程腔的装置，其包括：一设于大气环境中的工件堆放区；一设于该真空制程腔中的工件支架；设于大气环境与该真空制程腔之间的一第一进件腔和一第二进件腔，该第一和第二进件腔可以在大气状态与真空状态之间切换；一设于该真空制程腔中的第一机械手臂，用于将该第一或第二进件腔中的待加工工件传递至该工件支架进行加工，并将加工完毕的工件从该工件支架传递回该第一或第二进件腔；一设于大气环境中的第三机械手臂，用于将待加工工件从该工件堆放区传递至该第一或第二进件腔，并将加工完毕的工件从该第一或第二进件腔传递回该工件堆放区。本发明能够实现在真空与大气环境之间快速地传递工件，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 传递 工件 进出 真空 制程腔 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种传递工件进出真空制程腔的装置，其包括：一设于大气环境中的工件堆放区，用于堆放待加工的及加工完毕的工件；一设于该真空制程腔中的工件支架，用于固定工件以对工件进行加工；其特征在于，该装置还包括：设于大气环境与该真空制程腔之间的一第一进件腔和一第二进件腔，该第一和第二进件腔可以在大气状态与真空状态之间切换；一设于该真空制程腔中的第一机械手臂，用于将该第一或第二进件腔中的待加工工件传递至该工件支架进行加工，并将加工完毕的工件从该工件支架传递回该第一或第二进件腔；一设于大气环境中的第三机械手臂，用于将待加工工件从该工件堆放区传递至该第一或第二进件腔，并将加工完毕的工件从该第一或第二进件腔传递回该工件堆放区。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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