[发明专利]一种外加热方式的金属有机化学气相沉积系统反应腔

摘要

本发明涉及一种外加热方式的金属有机化学气相沉积系统反应腔，其为双层结构，外层是石英保护腔外筒，内层是石英反应腔内筒，摆放基片的衬底托盘安装在反应腔内筒腔内，双重保护确保基片反应时不受外界环境影响，保证高纯和化学、物理稳定的要求；本发明反应腔的衬底托盘由旋转轴支撑，并通过旋转轴与衬底托盘旋转机构联接，工作时衬底托盘可主动旋转，有效提高了薄膜组分和厚度的均匀性。本发明采用在反应腔外设置加热体的方法，大大简化了反应腔和加热体的结构，降低了设备成本；同时外置的加热体避免了加热组件对反应腔的污染；加热器相对反应腔中的衬底能够作相对位置移动，在反应过程中或结束时能够简单快速地改变基板温度。

主权项

一种外加热方式的金属有机化学气相沉积系统反应腔，包括密闭的石英反应腔体、衬底托盘、惰性保护气体喷头、反应气体喷头和加热体，其特征在于，a.所述石英反应腔体为双层结构，外层是石英保护腔外筒，内层是石英反应腔内筒，所述衬底托盘安装在反应腔内筒腔内；b.所述反应腔外筒和石英腔内筒之间、衬底托盘的上、下方设置热反射隔层和绝热材料；c.所述加热体呈环状套在反应腔外筒的外侧，加热体安装在具有升降机构的基座上，沿反应腔外筒上下移动；d.所述衬底托盘摆放待加工基片，衬底托盘由旋转轴支撑，并通过旋转轴与衬底托盘旋转机构联接。